Proces unieszkodliwiający wirusy i bakterie na danej powierzchni.
W tym celu stosowane są gazy takie jak tlenek etylenu i formaldehyd.
Używany jest zwykle do materiałów medycznych i sprzętu które nie mogą być poddawane działaniu wysokiej temperatury. Działa bójczo na wirusy, bakterie, w wyższych stężeniach także na przetrwalniki.
Ma też właściwości alkilujące.
Wnika on głęboko w dany materiał, a także przechodzi przez opakowania, dlatego można sterylizować skompletowane już pakiety narzędzi itp.
Aby bezpiecznie przeprowadzać sterylizację konieczne jest pomieszczenie z odpowiednim systemem wentylacji.
Formaldehyd
Wielokrotnie zmieniając ciśnienie, powoduje że dana substancja przechodzi w formę gazową.
Na początek konieczna jest próżnia, do komory z takimi warunkami wprowadzana jest para i formaldehyd.
Należy zachować szczególną ostrożność gdyż gaz ten jest bardzo reaktywny i palny, może wytworzyć mieszankę wybuchową.